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565net必赢客户端荣获中国仪器仪表学会科技进步一等奖

稿件来源:新技术开发部微系统实验室 孔延梅 发布时间:2023-01-18

  近日,565net必赢客户端新技术开发部微系统技术实验室焦斌斌研究员团队的紧凑型数字电容式MEMS三轴一体加速度传感器关键技术及产业化项目,在中国仪器仪表学会2022年度项目评选中荣获“科技进步一等奖”。 

  2011年起,焦斌斌团队与西安交通大学、苏州明传感科技有限公司合作开展MEMS三轴一体加速度传感器的关键技术及产业化工作,开发了多项MEMS关键工艺,设计了全套MEMS工艺监测方法与图形体系,保证了MEMS芯片的高良率(>98%)生产。专家组一致认为,该成果技术复杂、创新性强、工艺难度大,核心制造工艺与质量监控方法具有自主知识产权,其中铝锗共晶键合颗粒溢出检测、微小腔体气密性检测等在线工艺质量监控技术达国际领先水平。 

  基于该技术的相应产品性能达博世、ST等国际龙头企业对应型号水平,获得业内众多行业龙头标杆客户认可,不仅批量应用于荣耀、小米、传音等国内一线品牌的电子产品,还进入美国谷歌、韩国三星等国际知名企业。目前,该加速度传感器产品市场占有率位居国内市场前三、全球市场前五,正逐渐改变微型三轴加速度传感器的国际市场格局。

 

    

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